Tecnologie microelettroniche - (5 cfu)
| Prof. Ilaria De Munari | Tel. 0521.905834 - Fax. 0521.905822 |
| E-mail. ilaria.demunari@unipr.it | |
| Home page. http://ee.unipr.it/cgi-bin/user?ilaria |
Finalità
Il corso intende fornire allo studente alcune nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI.
Programma
- Processo planare del silicio;
- Fabbricazione del silicio monocristallino;
- Fotolitografia;
- Ossidazione;
- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica
- Deposizione, epitassia
- Attacchi
- Metallizzazioni e interconnessioni
- Problemi di “packaging”
Attività d'esercitazione
Verranno svolte in aula esercitazioni per mostrare agli studenti l'uso di alcuni strumenti software per la simulazione del processo tecnologico
Modalità d'esame
Prova orale
Testi consigliati
S.M. SZE: " VLSI Technology ", McGraw-Hill, 1988
G. SONCINI: " Tecnologie Microelettroniche ", Boringhieri, 1986
Ultimo aggiornamento: 10-06-2003